��ࡱ�>�� EG����D��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������)` �R��2bjbj�U�U2<�?�?0�������lllllll�����,�$�L%�$$$$$�"! -�$�$�$�$�$�$�$$�&hV)X�$!l5��55�$ll$$�%�!�!�!5Xl$l$�$�!5�$�!�!ll�!$ ��h{ ����d�!�$%0L%�!�)�! �)�!�)l�!�55�!55555�$�$�!555L%5555���$ � $ ���� ���llllll���� �V�[͑�p�[���[�^��NЏL��{t�R�l ,{N�z ;` R 00,{Nag :N/�{_=��[ 0�V�[-N�g�yf[�T�b/g�SU\ĉR�~���2006-2020t^ � 0 �ĉ��T�R:_�V�[͑�p�[���[��N N�{�y�͑�p�[���[ ��v�^���TЏL��{t �6R�[,g�R�l0 00,{�Nag ͑�p�[���[/f�V�[�y�bR�eSO�|�v͑���~b�R �/f�V�[�~�~ؚ4ls^�W@xxvz�T�^(u�W@xxvz0Z�Ɩ�T�W{QO�y�y�b�NMb0_U\ؚ4ls^f[/g�NAm0�yxňYHQۏ�v͑���W0W0vQ;N���N�R/f���[f[�y�SU\MR�l�T�Vl�~Nm0>yO�SU\�S�V�[�[hQ�v͑���y�b���W�T�eT �_U\R�e'`xvz0 00,{ Nag ͑�p�[���[�[L�R�~R{|�{t6R�^ �ZWc3z�[/ec0�R`�te�T�[gċ0O0 00,{�Vag ͑�p�[���[/f�OXb'Yf[�T�yxb�@b�^���v�yx�[SO ��[L��N"�ir�v�[�r�z�v�{t:g6R�T _>e0Am�R0T�T0�z�N ЏL�:g6R0 00,{�Nag -N.Y"�?e���zNy��~9� �/ec͑�p�[���[�v_>eЏL�0�yx�NhV��Y�f�e�T�;NR�exvz0Ny��~9�US�r8h�{ �N>kN(u0 00,{mQag �V�[T�~T{|�y�b��R0�Wё0Ny�I{�^ cgqy��v0�W0W0�NMb�v�~T�v�SR �OHQ�YXb gag�N�v͑�p�[���[b�b0 ,{�N�z L� #� 00,{Nag �yf[�b/g���N N�{�y�y�b� �/f͑�p�[���[�v�[‰�{t�� �;N��L�#�/f� 00106R�[͑�p�[���[�SU\�e���T?eV{ ��[‰c�[͑�p�[���[�v�^���TЏL�0 00206R�T�~�~�[�e͑�p�[���[;`SOĉR�T�SU\��R0 0030yb�Q͑�p�[���[�v�^�z0�te�T�d�0N͑�p�[���[~{���]\O��R0�~�~͑�p�[���[ċ0O�T�h�g0 00,{kQag �V�Rb� gsQ��00W�e�y�b�{t��/f͑�p�[���[�vL�?e;N�{����N N�{�y;N�{�� � �;N��L�#�/f� 0010/�{_�V�[ gsQ͑�p�[���[�^���T�{t�v�e���T?eV{ �/ec͑�p�[���[�v�^���T�SU\0 0020�Onc,g�R�l6R�[,g��͑�p�[���[�{t�~R �c�[͑�p�[���[�vЏL��T�{t ��~�~�[�e͑�p�[���[�^��0 0030X��N͑�p�[���[;N�N�Tf[/g�YXTO;N�N0 0040=��[͑�p�[���[�^��g��@b��v�vsQag�N0 00,{]Nag �OXbUSMO/f͑�p�[���[�^���TЏL��{t�vwQSO�#�USMO �;N��L�#�/f� 0010OHQ/ec͑�p�[���[ �v^�c�O�v�^�vag�N�O�� �㉳Q�[���[�^��NЏL�-N�v gsQ�0 0020�~�~lQ_�bX��T�cP�͑�p�[���[;N�N ��cP�͑�p�[���[f[/g�YXTO;N�N �X��N͑�p�[���[oR;N�N�Tf[/g�YXTO�YXT0 0030�[͑�p�[���[ۏL�t^�^�8h �M�T�y�b萌T;N�{��ZP}Yċ0O�T�h�g0 00409hncf[/g�YXTO�^�� ��c�Q͑�p�[���[ T�y0xvz�eT0�SU\�vh0�~�~�~�gI{͑'Y�tea���b;N�{��0 ,{ N�z �^ �� 00,{ASag ͑�p�[���[9hncĉR�T^@\ ��N�蕌T0W�e͑�p�[���[-N g��R0 g͑�p0Wt� ��^�� ��Oc��^�^��ĉ!j0 00,{ASNag �y�b�lQ_�S^͑�p�[���[�^��cWS �1u;N�{���~�~3u�b0 00,{AS�Nag 3u���e�^͑�p�[���[{�:N�]ЏL��T�[Y_>e$Nt^�N N�v��b0W�e͑�p�[���[ �v^�n�� NRag�N� 0010&{T͑�p�[���[�^��cWS ��N�N�W@xxvzb�^(u�W@xxvz0 0020xvz�[�R:_ �(W,g���W g�Nh�'` � g���Rb�b�V�[͑'Y�yx�N�R0 0030wQ g�~�gTt�vؚ4ls^�yx� O0 0040wQYo�}Y�v�yx�[��ag�N ��NXTN(u?bƖ-N0 00,{AS Nag ;N�{���~�~wQYag�N�vUSMOkX�Q 0�V�[͑�p�[���[�^��3u���bJT 0 ��[8hT�b�y�b�0 00,{AS�Vag �y�b��~�~N�[ċ�[T ��bO�zy�0;N�{���~�~�v�^�OXbUSMOlQ_�bX�͑�p�[���[;N�N�T6R�[͑�p�[���[�^����R ��[8hT�b�y�b�0�y�b��~�~�SL�'`���� ��ǏT�N�Nyb�Q�^��0 00,{AS�Nag ͑�p�[���[�^��gP�N,� N��Ǐ$Nt^0;N�{�蕌T�OXbUSMO�c�O�^��g��@b��v�vsQag�N�O��0 00,{ASmQag ͑�p�[���[�^����R�[bT �1u�OXbUSMO�c�N��6e3u�� ��~;N�{�蕡[8hT�b�y�b� ��y�b��~�~N�[��6e0 ,{�V�z Џ L� 00,{ASNag ͑�p�[���[�[L��OXbUSMO���[ N�v;N�N�#�6R0 00,{ASkQag ͑�p�[���[;N�N1u�OXbUSMOb�T�V�QYlQ_�bX�0�bO�cP� �;N�{��X��N ��b�y�b�YHh0͑�p�[���[;N�N�^/f,g���Wؚ4ls^�vf[/g&^4Y�N �wQ g��:_�v�~�~�{t���R �N,� N��ǏmQAS�\0 00,{AS]Nag ͑�p�[���[;N�N�Ng�Nt^ �ޏ�N N��Ǐ$NJ\0�kt^(W͑�p�[���[�]\O�e��N,� N\�NkQ*Ng �yr�k�`�Q���b;N�{��yb�Q0 00,{�NASag f[/g�YXTO/f͑�p�[���[�vf[/gc�[:g�g �L�#�/f�[��͑�p�[���[�v�vh0xvz�eT0͑'Yf[/g;m�R0t^�^�]\O��R�T;`�~0 00f[/g�YXTOO���kt^�\�S_N!k ��k!k�[0R�Npe N\�N NRKN�N0 00,{�NASNag f[/g�YXTO;N�N1u�OXbUSMO�cP� �;N�{��X��N �N,��^1u^��OXbUSMO�NXT�b�N��YXT1u�OXbUSMOX��N0 00,{�NAS�Nag f[/g�YXTO1u�V�QYO�yN�[�~b ��Npe N��ǏAS N�N �vQ-N�OXbUSMO�NXT N��Ǐ NRKNN0NMON�[ N�_ T�e�b�N N*N�N N͑�p�[���[�vf[/g�YXTO�YXT0 $&48<BDF���� � � B H � � � � @ F H J � � � � � � �   ��dz���~��m��m�����~���~�[ǡ��~���~#h;�h�YCJKHOJQJ^Jo( h�YCJKHOJQJ\�^Jo(h�YCJKHOJQJ^Jo(&h�^\h�YCJKHOJQJ\�^Jo(#h�^\h�YCJKHOJQJ^Jo('h�lh�YCJKHOJQJ^JaJo(-h�lh�Y5�CJKHOJQJ\�^JaJo(#h�Y5�CJKHOJQJ\�^Jo(h? �h�YOJPJQJ\�o(#$&8�� > � < � �  f � n � ,\����������������������$d,��-D1$M� ����XD2a$gd�Y$d,-D1$M� ����a$gd�Y$d,-D1$M� ����a$gd�Y$d ��a$gd�Y�2� ������<>����\nrxz����,46z�����������Fj|��������z�������������������������������������������������-h�lh�Y5�CJKHOJQJ\�^JaJo(h�YCJKHOJQJ^Jo(#h;�h�YCJKHOJQJ^Jo( h�YCJKHOJQJ\�^Jo(&h�^\h�YCJKHOJQJ\�^Jo(#h�^\h�YCJKHOJQJ^Jo(8�6��\n�(��Bv���j|�v�x�.�������������������������$d,��-D1$M� ����XD2a$gd�Y$d,-D1$M� ����a$gd�Y���� .2<>@�$\$f$h$j$h%r%t%v%*&4&6&,'6'8':'�'�'�'�(�(�(�(�)�)�)"***,*.*�*�*�*h+r+t+v+�+�+�+�+$,.,0,2,p,�,���������������������ʥ�����ʥ�����ʥ�����ʥ������������� h�YCJKHOJQJ\�^Jo(U#h;�h�YCJKHOJQJ^Jo(&h�^\h�YCJKHOJQJ\�^Jo(h�YCJKHOJQJ^Jo(#h�^\h�YCJKHOJQJ^Jo(<00�YXT�Ng�Nt^ ��k!kbcJ\�^�fbc NRKNN�N N �$N!k N�Q-^f[/g�YXTOO���v�^�N�N�fbc0 00,{�NAS Nag ͑�p�[���[1u�V�[�NXT�TAm�R�NXT�~b0�V�[�NXTS�bxvz�NXT0�b/g�NXT�T�{t�NXT �Am�R�NXTS�b���f[�0ZS�XTxvz�NXT0 00͑�p�[���[�NXT�[L�X��N6R0��r^�V�[�NXT1u͑�p�[���[;N�NX��N�vQYO�V�[�NXT�TAm�R�NXT1u��r^�V�[�NXTX��N �͑�p�[���[;N�N8h�Q0 00,{�NAS�Vag ͑�p�[���[ cxvz�eT�Txvz�Q�[��nxvzUSCQ ��Oc�NXT�~�g�Tĉ!jTt �v^�S_Am�R0 00͑�p�[���[�^S_�l͑f[/g�h��TO�y-NR�t^� O�^�� �3z�[ؚ4ls^�b/g� O ��R:_xvzu�W{Q0 00,{�NAS�Nag ͑�p�[���[�^�V�~;N���N�R�Txvz�eT���z�;Nxvz���� ��~�~�V�_U\c�~�meQ�v�|�~'`xvz�\�R�����S1u�V�[�NXTb�V��1u3u�� �_U\�c"}'`�v�;N ���xvz0���l͑/ecR�t^�y�b�NXT ���R�[���b/g�e�l�vR�exvz �v^�S/ec�e_ۏ�V�[�NXT�v�yx/T�R0 00,{�NASmQag �;Nxvz����gP�N,�:N1-3t^0͑�p�[���[�[�;Nxvz�����vgbL��`�Q��ۏL��[g�h�g �v^�S�e��6e0�����v�h�g�T��6eZWc ��RR�e03z�[/ec0�['`ċ�N0�[�[1Y%� �v�SR0 00,{�NASNag ͑�p�[���[�^�R'Y_>e�R�^ ��^��b:N,g���W�V�[lQqQxvzs^�S�v^�y�g_U\�VE��y�bT\O�T�NAm ��SN͑'Y�VE��y�bT\O��R0 00͑�p�[���[�^�^�z���f[�6R�^ �v^�Ǐ_>e����I{�e_ �8T_�V�QYؚ4ls^xvz�NXTeg�[���[_U\T\Oxvz0 00,{�NASkQag ͑�p�[���[�^�~y{6R�[�yx�NhV��Y�v�]\O�eHh � g��R0W�[�e�yx�NhV��Y�v�f�e9e �0�;Nx6R0 00͑�p�[���[�^�O���yx�NhV�vؚHeЏl��T_>eqQ�N �v^ cgq gsQĉ�[�T��Bl�[�epencqQ�N0 00,{�NAS]Nag ͑�p�[���[�^S_͑Ɖ�yf[S��_�Tf[Θ�^�� �%� ��[~gl;N0\o�_xvz�v�yx�s�X �_U\�~8^'`0Y�yb__�vf[/g�NAm;m�R0 00,{ NASag ͑�p�[���[�^S_͑Ɖ�T�R:_ЏL��{t ��^�zePhQ�Q�ĉ�z6R�^0���R:_�[�RlQ_ �͑'Y�Ny��QV{��lQ_�f0%NyOlQOyr+R/ff[u_>e ��kt^ N\�NAS)Y0 00,{ NAS�Vag ͑�p�[���[����f T0�S�fxvz�eTbۏL��~�g�te0͑�~�v �{�1u�OXbUSMO�c�QfNb��bJT ��~f[/g�YXTO���� �;N�{�蕡[8hT�b�y�b�yb Y0 ,{�N�z �8hNċ0O 00,{ NAS�Nag ͑�p�[���[�^S_(Wĉ�[�e���bJTt^�^�]\O��R�T;`�~ ��~�OXbUSMO�T;N�{�蕡[8hT ��b�y�b�0 00,{ NASmQag �OXbUSMO�^S_�[�[���[ۏL�t^�^�8h ��8h�~�g�b;N�{�蕌T�y�b�YHh0t^�^�8h�v;N���v�v/f�N㉞[���[�SU\�r�Q�TX[(W�v�0 00,{ NASNag 9hnct^�^�8h�`�Q ��y�b�O T;N�{�蕌T�OXbUSMO ��kt^�[�R͑�p�[���[ۏL��s:W�h�g ��S�s0xvz�T㉳Q͑�p�[���[X[(W�v�0�s:W�h�g�v�Q�[;N��S�b�,T�S�[���[;N�N�]\O�bJT0��[�[���[0�S_�^�OI{0 00,{ NASkQag �y�b��[͑�p�[���[ۏL��[gċ0O0�Nt^:NN*Nċ0OhTg ��kt^ċ0ON�$N*N���W�v͑�p�[���[0wQSOċ0O�]\O�YXbċ0O:g�g�[�e0 00,{ NAS]Nag ċ0O;N���[͑�p�[���[�Nt^�vteSOЏL��r�QۏL��~Tċ�N �chS�b�xvz4ls^N!�.s0� O�^��N�NMb�W{Q0_>e�NAmNЏL��{tI{0 00,{�VASag �y�b�9hnc͑�p�[���[�[gċ0Ob�~ ��~Tt^�^�8h�`�Q �nx�[͑�p�[���[ċ0O�~�g�*g�Ǐċ0O�v N�QReQ͑�p�[���[�^R0 ,{mQ�z D� R 00,{�VASNag ͑�p�[���[�~N}T T:N ����V�[͑�p�[���[��OXbUSMO � ��e T�y:N State Key Laboratory of �� ���OXbUSMO � 0�Y�ExPg�e�V�[͑�p�[���[�Ym_l'Yf[ � �State Key Laboratory of Silicon Materials ( Zhejiang University)0 00,{�VAS�Nag �V�[͑�p�[���[Ny��~9��{t�R�l�SL��S^0 00,{�VAS Nag ;N�{�蕝Onc,g�R�l6R�[,g��͑�p�[���[�{t�~R0 ,{�VAS�Vag ,g�R�l��S^KN�ew��eL�0�S 0�V�[͑�p�[���[�^��N�{t�fL��R�l 0��V�y�S�WW[[2002]91�S � T�e�^bk0 �X$�$d%�%&&('�'j(�(D)�)*�*d+�+ ,�,�,8-�-�.&/�/80������������������������$d,��-D1$M� ����XD2a$gd�Y$d,-D1$M� ����a$gd�Y�,�,�,�,�,�,<-F-H-J-�-�-�-�.�.�.�.*/4/6/8/�/�/�/�/080J0N0X0Z0\0p0r0x0�0�0�0�0�0�0�01�1���ֳ��ֳ�¢��ֳ��ֳ��ֳ֐��¢փzo�z�zo�z�oh�^\h�YCJKHh�YCJKHo(h�^\h�YCJKHQJ#h;�h�YCJKHOJQJ^Jo( h�YCJKHOJQJ\�^Jo(h�YCJKHOJQJ^Jo(&h�^\h�YCJKHOJQJ\�^Jo(#h�^\h�YCJKHOJQJ^Jo(-h�lh�Y5�CJKHOJQJ\�^JaJo(+80J0�1�12�2�����gd�Y$d,-D1$M� ����a$gd�Yd,-D1$M� ����gd�Y$d,��-D1$M� ����XD2a$gd�Y�1�1�1�1�1�1�1�1�1�1�12$2&2(2�2�2����ֳ��ֳ��ֳ��h�.%'h�^\h�YCJKHOJPJQJ^Jo(h�YCJKHOJQJ^Jo(&h�^\h�YCJKHOJQJ\�^Jo(#h�^\h�YCJKHOJQJ^Jo(h�^\h�YCJKHh�^\h�YCJKHQJ01�82P��. ��A!�"�#��$��%��S�� ����J`��J �Yck�e $1$a$ CJKH_HaJmH nHsH tHV`V �Yh�� 2$$d���@&5�CJ OJPJQJ\�aJ $A@���$ ؞���k=�W[SOBi@���B nf�h�]��<^��X���{ �  Q � � � = � � � B M � � 5 z �  ���2@0��(��@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���@0���0�p�_���3O���.Go���.7o��� !;l��5>]��<^��X���{ �  Q � � � = � � � B M � � 5 z �  ���2@0���@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��@0�/��� 00 �,�1�2 ��80�2 �2�8�@�����������0�( � ��B �S ���� ?��� _Toc32978135222!#:Cnruw����!$%]adf�������������� 16MR~�������,1EILNmr������,.123459<>mquw�������� $9=ACjnrt������3589:;<@DF[_ce������:>\`eg������VZ��������  y } � � � � � � � �   O S X Z � � � � � � � � � � ; ? D F � � � � � � � � � � � @ B E F K O T V � � � � � � � � 3 7 < > x | � � � � � �   #017UZ[o������������� (/2or��!^a������ 25NQ�����-0FInq������-.69nq������  #:=kn����45=@\_����;>]`����WZ������z } � �   P S � � � � � � < ? � � � � � � A B L O � � � � 4 7 y | � �  ������/22���@ H 8p�� B �Z D: Oa�"�}r�P�{�u�p�9&�YR)�"�A5YN!�4�� �g �nt��r���0"�aT��Q�i ��O����!��Q���e�*h�n��0��6�� ����h�}V�v� �?Q��^� p����@�//H�� UU//�0``$��Unknown������������G��z ��Times New Roman5��Symbol3&� �z ��Arial;���[SOSimSun;5�� �N�[_GB2312;��ўSOSimHei7&� � �Verdana ���h������D� D� !-!),.:;?]}����    & 6"0000 0 0 00000��� � �����=�@�\�]�^���([{�  0 0 00000��;�[����������r)) 2�qHX ��?�����������������������Y2���V�[͑�p�[���[�^��NЏL��{t�R�l R\uQR\uQ�������Oh��+'��0��������  ( H T `lt|��$�����ص�ʵ���ҽ��������й���취 ��С�� normal.dot��С��1Microsoft Office Word@@�OR ��@�v ��D� ����՜.��+,��0� X`���� �����Lenovo (Beijing) Limited)'  ���� !"#$%&'()*+,-./0123����56789:;����=>?@ABC��������F����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �F`)w{ ��H�1Table���������)WordDocument��������2<SummaryInformation(����4DocumentSummaryInformation8������������<CompObj������������m������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������ ���� �FMicrosoft Office Word �ĵ� MSWordDocWord.Document.8�9�q